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GAZER SEMI SEMICONDUCTOR
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半导体晶圆剖析设备 —— GS-M08X

设备由定制开发的光路系统、自动化晶圆检测机台以及半导体专业分析软件组 成。采用原装进口的Robot和Aligner , Load Port.控制软件以及光路系统由我 司自主设计研发。该设备占地面积小,采用多轴机械手,通过复合运动实现取放 料和检测定位,极大的提高了检测效率,同时又降低了产品维护成本。内部全新 设计的气体导流结构,保证晶圆传输过程的洁净度。多重互锁保护,从软件到硬 件,多重保证晶圆传输过程中的安全以及人员与设备的安全。

EFEM是-个晶圆前端传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动 或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充 裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小,采用带外部轴 的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片,极大的提高了传片效率的同时而 又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构,保证内部空间洁净度能够满 足ISO Class 1级别,保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护,从软 件到硬件,多重保证晶圆传输过程中的安全,人员与设备的安全。

半导体晶圆剖析设备 —— GS-A12X

盖泽华矽半导体科技(上海)有限公司

盖泽华矽半导体科技(上海)有限公司,结合高技术团队力量,以光学领域的技术开发及应用为核心,为半导体晶圆前道量检应用场景提供了一系列可以替换进口的国产化解决方案,公司业务覆盖半导体、光伏、显示等多个领域,并在多地设有专业检测实验室及半导体设备生产组装车间。公司秉承”智创”赋能锻造科技“硬核”力量的理念,旨在成为国内优质的高端半导体装备制造民族企业。