专业维修：半导体生产设备及量测仪器

/ Avantsemi / 作者：

我公司芯片级维修半导体生产设备及量测仪器，从实际经验来看，我们切实地为用户提供了经济快捷的解决方案，排除棘手故障，修复设备仪器，恢复生产，在用户中享有良好口碑。

我公司所修复的外延厂设备，以及IGBT功率模块封装测试设备的现场维修照片如下：

1、QS-500 膜厚仪

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2、FTIR QS1200 光谱仪

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3、BIO-RAD QS-408M 膜厚仪

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​4、ACCENT QS1200 光谱仪

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​5、KLA Tencor SURFSCAN SP1

颗粒测试仪

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​6、KLA Tencor SURFSCAN 6220

颗粒测试仪

​​​7、SSM 495 CV 测量与分析系统（SSM Measurement and Analysis System）​​

​8、Tencor OmniMap Auto RS75

​电阻率测试仪

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​9、OLYMPUS AL3100 光学显微镜

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​10、​RS-55 四探针​​​

​11、FAaST – 350 载体寿命测试仪

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​12、KLA RS100 电阻测试仪

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13、​KLA Tencor SP1 颗粒测试仪

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​14、​ACV – 2200电阻率测试系统

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​15、INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING

SPA 301 倒角器

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16、​ADE 9600 平整度测试仪

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17、​ASM Epsilon 2000 外延设备

​​​​​​18、ASM E3200 外延炉​​​

​​19、LOW FREQUENCY EPICONVERTER

(IFC/A-150/A 高频炉)

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​​​20、LOW FREQUENCY EPICONVERTER

IFC 150 高频炉

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21、Wet Station FC3000（半导体外延清洗系统）

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​22、LEMSYS IGBT（半导体） 动静态测试系统

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​23、HAN*S LASER 大族激光打标机

（半导体IGBT模块logo 打印）

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