本文源自:金融界
金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，上海优睿谱半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于多通道C扫描的晶圆检测方法及系统”的专利，公开号CN120427748A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基于多通道C扫描的晶圆检测方法及系统，旨在解决传统系统中多通道灵敏度差异、Z轴高度偏差及拼接伪影等问题。检测前选取标准片最大缺陷点与无缺陷点，调节各通道增益至统一幅值并记录回波幅度，实现灵敏度校准；检测中利用激光位移传感器实时采集晶圆表面高度数据，结合ARIMA+Kalman滤波或高斯过程回归算法建模，通过PID反馈动态调节Z轴聚焦距离，补偿表面翘曲导致的信号衰减；图像拼接时，采用线性自适应、Gamma自适应（基准γ设定后自动对齐通道均值）及手动设定三种灰度映射方式优化通道响应，基于二维互相关函数计算亚像素级偏移量实现坐标对齐，并在通道交界处设置5%重叠区域，通过线性渐变权重加权平均完成灰度过渡。
天眼查资料显示，上海优睿谱半导体设备有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本721.7424万人民币。通过天眼查大数据分析，上海优睿谱半导体设备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可2个。