半导体前道量测设备的拦路虎:KLA

说起来你可能不信,我们不仅芯片造不出来,就连检测晶圆的量测设备也造不出来。

神奇的KLA:市占率高达 52%,是国产替代路上的最大阻力之一

半导体制造中前道工艺设备中检测和量测设备,几乎被美国的几家巨头垄断。

全球量测设备市场份额

在半导体前道工艺设备制造商中,有一家神奇的公司,它仅仅凭借各类检测设备这一单业务,就实现将近100亿美金的营收,不仅位居全球半导体设备供应商的第五位(其毛利率高达60%以上,远超40%的均值),还打入世界500强(2023年6月,以92.11亿美元营收,位列第416位),它就是大名鼎鼎的“KLA”可以说,在KLA面前,量测领域一个能打的都没有(没错,不针对某一个人,而是所有人)。

KLA

检测设备贯穿每一步骤的过程工艺控制,几乎每一步主要工艺完成后都需要在整个生产过程中进行实时的监测,以确保产品质量的可控性,对保证产品质量起到关键性的作用。全球市场空间约180亿美元。如果量检测设备不取得突破,我国半导体设备仍有被卡脖子之虞。美国KLA(科磊)在量检测领域市占率高达 52%,是国产替代道路上的最大阻力之一。

KLA的发展史:一路收购发家!

KLA(KLA Corporation,原称KLA-Tencor Corporation,中文名称:科磊),1976年成立于美国加州硅谷, 是全球领先的半导体检测设备供应商,为半导体制造及相关行业提供产能管理和制程控制解决方案。

量测设备

1980年,成功上市,之后一路收购发家!1997年,收购Tencor薄膜测量以及流程诊断和产线管理技术1998年,收购Amray扫描电子显微镜业务;Uniphases Ultirapointe硅片缺陷分析业务;Nanopro GmbH,Ltd 干涉测量业务;VARS产线图像管理业务1999年,收购ACME Systems Inc 产量软件分析业务2000年,收购Fab Solutions 过程控制软件;FINLE Technologies,Inc.光刻建模和数据分析2001年,收购Phase Metrics数据存储行业检验/认证技术2002年,收购Qc Optics半导体、平板及电脑硬盘,制造行业的激光检测系统2004年,收购Candela Instruments表面检测业务2006年,收购Inset,inc. 晶圆监测系统2007年,收购OnWafer Technologies 等离子刻蚀业务;SensArray即时温度量测技术;Wherma-Wave 即时设备服务业务2008年,收购ICOS Vision SystemsCorporation NV封装和互联检测解决方案光伏太阳能技术和LED晶圆检测;Vistec SemiconductorSystemss MIE 掩模关键尺寸测量工具和宏观缺陷检测系统。2009年,收购Ambios Technologies光学轮廓仪2014年,收购Luminescent Technologies发光器业务;SPTS Technologies 制造半导体MEMS和其他微电子设备2017年,收购Zeta Technologies非接触式探查器业务2018年,收购Keysight 力学测试系统产品线;Nanomechanics,Inc 纳米压痕仪业务2019年,收购Filmetrics薄膜厚度测量系统;Capres A/S电阻率测量技术;Orbotech PCB检测、面板检测和特殊半导体检测业务2021年,收购ECI Thchnologies CVS、CPV业务

KLA的发展可以归纳为三个阶段:

从 0~1 阶段:顺应市场需求,快速推出产品;从 1~10 阶段:运营进一步细化,产品加速放量;从 10~ 阶段:不断兼并收购,外延内生发展。

后记

KLA成功上市之后,基本一路靠着收购发家(干不过就发挥超能力,买过来)!

凭借这一“钞”能力,KLA公司产品下游应用于晶圆、光罩制造、半导体、封装、PCB 和 LED 等工业技术领域,产品贯穿前道工艺过程控制全流程,在部分细分领域具有绝对垄断优势。